XPS Peak Fit是一款专业的化学XPS分峰软件，可以进行分析物质表面的化学组分及状态分析，能够对表面光电子能谱处理分析，能自动生成很多重要的参数。

【使用说明】

　　1、Excel中的数据转换成TXT格式

　　从Excel中的数据只选择要进行拟合的数据点，复制到txt文本中，即BD两列数据，另存为*.txt文件。

　　2、打开分峰软件,在XPS Peak Fit窗口中，从Data菜单中选择Import (ASCII)，即可将转换好的txt文本导入，出现谱线

　　3、扣背底

　　在打开的Region 1窗口中，点击 Backgrond，选择Boundary的默认值，即不改变High BE和Low BE的位置，Type一般选择Shirley类型扣背底

　　4、加峰

　　选择Add Peak，选择合适的Peak Type(如s,p,d,f),在Position处选择希望的峰位，需固定时点fix前的小方框,同时还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constaints可用来固定此峰与另一峰的关系。如W4f中同一价态的W4f7/2和W4f5/2的峰位间距可固定为2.15eV，峰面积比可固定为4:3等，对于% Lorentzian-Gaussian选项中的fix先去掉对勾，点击Accept完成对该峰的设置。点Delete Peak可去掉此峰。再选择Add Peak可以增加新的峰，如此重复。注意：% Lorentzian-Gaussian值最后固定为20%左右。